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半导体制造技术导论

(美)Hong Xiao(萧宏)
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工业技术电子通信30.9万字

更新时间:2018-12-26 21:46:23 最新章节:15.1 参考文献

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书籍简介

本书是一本半导体工艺技术的优秀教材,并不强调很深的理论和数学知识,而是重点关注半导体关键加工技术概念的理解。全书共分15章,包括:半导体技术导论,集成电路工艺导论,半导体基础知识,晶圆制造、外延和衬底加工技术,半导体工艺中的加热工艺,光刻工艺,等离子体工艺技术,离子注入工艺,刻蚀工艺,化学气相沉积与电介质薄膜,金属化工艺,化学机械研磨工艺,半导体工艺整合,CMOS工艺演化,并在最后展望了半导体工艺发展的趋势。
上架时间:2013-01-01 00:00:00
出版社:电子工业出版社
上海阅文信息技术有限公司已经获得合法授权,并进行制作发行

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    天地一体化信息网络的建设和发展将会改变未来空间技术应用模式并深刻影响人类未来的生活。其具有高动态、多层以及异构多节点特性,统一时间基准的建立以及节点间高精度的时间同步,是实现天地一体化信息网络高效互联和协同的重要技术基础。本书站在天地一体化信息网络系统工程角度,重点从天地一体化时间统一的角度进行阐述,特别是从时间基准的建立、到时间基准的维持、再到时间的广域播发和监测评估,层层递进描述网络化的时间及
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    《现代智能控制实用技术丛书》共分为四本,其内容按照信号传输的链条,即由传感器、信号的调制与解调、信息的传输与通信技术和智能控制技术的应用组成。本书系统地对信号的调制与解调的基本概念、调制的目的,以及调制波模拟调制中的幅度调制(AM)、频率调制(FM)和相位调制(PM),调制波数字线性调制中的幅移键控(ASK)调制、开关键控(OOK)调制,非线性调制中的数字频移键控(FSK)调制、高斯频移键控(GF
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    《现代智能控制实用技术丛书》共分为四本,其内容按照信号传输的链条,即由传感器、调制与解调、信息的传输与通信技术和智能控制技术的应用组成。本书系统地对信息传输与现代通信技术的密切关系、通信技术的发展简史,以及现代通信技术的特点和发展趋势进行介绍;客观回顾我国通信事业的发展历程;并简述世界通用的、利用通信技术传输信息的主要手段,诸如有线通信的载波技术、无线通信的微波接力通信的基本概念、基本原理,以及各
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